CVD氣相沉積爐

化學(xué)氣相沉積爐應用領(lǐng)域

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規格

產(chǎn)品型號/規格W×H×L(mm)	600*600*1000	800*800*1200	1000*1000*1500	1200*1200*2500	1500*1500*3000	2500*2000*3600
裝載重量(KG)	350	800	1500	2500	5000	10000
最高溫度(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
加熱功率(kw)	250	360	480	600	900	1200
極限真空度(Pa)	20	20	20	20	20	20
壓升率(Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
以上化學(xué)氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進(jìn)行調整，不作為驗收依據，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

化學(xué)氣相沉積爐主要配置

爐門(mén)：絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊

爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC

加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統：體積/質(zhì)量流量計；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國產(chǎn)

真空泵和真空計---進(jìn)口/國產(chǎn)

PLC：歐姆龍/西門(mén)子

控溫儀表：日本島電/英國歐陸

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)

人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機

電器元件：正泰/施耐德/西門(mén)子

料車(chē)：滾道式/叉車(chē)式/疊加式超長(cháng)傳輸料車(chē)

化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征

本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m，能滿(mǎn)足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；

本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；

本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進(jìn)行有效處理。